文：第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、馬云飛

圖：第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟

 2022年8月6日，由保定市人民政府、河北省科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)、河北省發(fā)展和改革委員會(huì)、河北省工業(yè)和信息化廳、河北省科學(xué)技術(shù)廳、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟聯(lián)合主辦，保定國(guó)家高新區(qū)管委會(huì)、保定市科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)、保定市發(fā)展和改革委員會(huì)、保定市工業(yè)和信息化局、保定市科學(xué)技術(shù)局、淶源縣人民政府承辦的2022白石山第三代半導(dǎo)體峰會(huì)在河北淶源順利召開(kāi)。

中國(guó)院士、中國(guó)副院長(zhǎng)、中國(guó)大學(xué)黨委書(shū)記、校長(zhǎng)李樹(shù)深，中國(guó)院士、北京大學(xué)教授甘子釗，中國(guó)工程院院士、清華大學(xué)教授羅毅等院士專(zhuān)家；河北省政府黨組成員、副省長(zhǎng)胡啟生的省直部門(mén)及央企；中國(guó)國(guó)電集團(tuán)公司原副總經(jīng)理、黨組成員張成杰, 國(guó)家新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展專(zhuān)家咨詢(xún)委員會(huì)委員、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長(zhǎng)吳玲,北京大學(xué)理學(xué)部副主任、寬禁帶半導(dǎo)體研究中心主任、CASA副理事長(zhǎng)沈波, CASA副理事長(zhǎng)兼秘書(shū)長(zhǎng)、中科院半導(dǎo)體所原副所長(zhǎng)楊富華，以及其他來(lái)自相關(guān)政府部門(mén)、科研院校、企業(yè)的與技術(shù)專(zhuān)家通過(guò)線上、線下的方式參與了開(kāi)幕式。

保定市委副書(shū)記、市政府市長(zhǎng)閆繼紅主持峰會(huì)開(kāi)幕式。廣電計(jì)量作為第三代半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域的重要參與者，受邀參與此次活動(dòng)并做主題演講。

技術(shù)專(zhuān)家與嘉賓發(fā)言

白石山第三代半導(dǎo)體峰會(huì)始于2021年，是由保定市人民政府和第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟共同發(fā)起、在保定淶源打造的峰會(huì)，為政府、專(zhuān)家學(xué)者、企業(yè)搭建了共商第三代半導(dǎo)體技術(shù)應(yīng)用、投資以及發(fā)展相關(guān)問(wèn)題的高層對(duì)話(huà)平臺(tái)。本次會(huì)議以“同‘芯’共贏"為主題，瞄準(zhǔn)國(guó)家重大戰(zhàn)略需求及產(chǎn)業(yè)鏈需求，結(jié)合推進(jìn)碳中和及發(fā)展新興產(chǎn)業(yè)的要求，探討第三代半導(dǎo)體技術(shù)與應(yīng)用。

廣電計(jì)量在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域構(gòu)筑了較為全面的檢測(cè)能力，具備豐富的檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)。作為第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)代表，廣電計(jì)量元器件篩選與失效分析中心總監(jiān)、第三代半導(dǎo)體技術(shù)副總監(jiān)李汝冠博士向與會(huì)嘉賓做《第三代半導(dǎo)體功率器件檢測(cè)技術(shù)發(fā)展》報(bào)告，詳細(xì)闡述了Si基器件標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用于第三代半導(dǎo)體檢測(cè)情況以及第三代半導(dǎo)體器件檢測(cè)新需求。他指出，第三代半導(dǎo)體優(yōu)勢(shì)明顯、應(yīng)用廣泛，是半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的核心方向，如何應(yīng)用新的方式對(duì)第三代半導(dǎo)體進(jìn)行質(zhì)量及可靠性的評(píng)估與準(zhǔn)確測(cè)量，是未來(lái)第三方檢測(cè)行業(yè)的重要機(jī)遇和挑戰(zhàn)。

基于廣電計(jì)量豐富的第三代半導(dǎo)體器件檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)，李汝冠提出基于傳統(tǒng)半導(dǎo)體的檢測(cè)技術(shù)及檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)（如AEC-Q101）進(jìn)行直接應(yīng)用，以暴露第三代半導(dǎo)體器件的薄弱環(huán)節(jié)；并依據(jù)第三代半導(dǎo)體的特殊性，引入針對(duì)第三代半導(dǎo)體器件的測(cè)試方法，如SiC MOS的柵極氧化層可靠性測(cè)試、偏壓溫度不穩(wěn)定性測(cè)試、體二極管雙極性退化測(cè)試、閾值電壓測(cè)試、GaN HEMT的動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻測(cè)試等方法。同時(shí)，針對(duì)第三代半導(dǎo)體器件的測(cè)試方法，需增加動(dòng)態(tài)應(yīng)力試驗(yàn)，以觸發(fā)在遵循標(biāo)準(zhǔn)的靜態(tài)試驗(yàn)中觀察不到的失效機(jī)制，為第三代半導(dǎo)體企業(yè)的可靠性檢測(cè)提供了重要的思路建議。

廣電計(jì)量技術(shù)專(zhuān)家做主題報(bào)告

北京大學(xué)東莞光電研究院院長(zhǎng)、北大寬禁帶半導(dǎo)體研究中心原主任張國(guó)義，中國(guó)半導(dǎo)體所黨委副書(shū)記、書(shū)記樊志軍，中國(guó)半導(dǎo)體研究所副所長(zhǎng)張韻，國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新主任張魯川，國(guó)基北方總經(jīng)理、十三所常務(wù)副所長(zhǎng)崔玉新，火炬中心高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展處副處長(zhǎng)陳彥等專(zhuān)家代表也參與了此次活動(dòng)。51萬(wàn)余人次在線觀看了峰會(huì)直播。

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第三代半導(dǎo)體在新基建七大領(lǐng)域都有其廣泛的應(yīng)用前景。黨、高度重視第三代半導(dǎo)體發(fā)展，將其列入國(guó)家重點(diǎn)規(guī)劃和科技專(zhuān)項(xiàng)支持。而檢測(cè)是提高半導(dǎo)體器件質(zhì)量與可靠性的重要保障。廣電計(jì)量作為國(guó)有第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)，在我國(guó)第三代半導(dǎo)體發(fā)展過(guò)程中，秉承國(guó)企擔(dān)當(dāng)，在光電子、電力電子、微波射頻等第三代半導(dǎo)體三大應(yīng)用領(lǐng)域構(gòu)筑了較為全面的檢測(cè)能力。

公司在第三代半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域（SiC、GaN）合作客戶(hù)20余家，檢測(cè)樣品數(shù)量百批次、數(shù)量數(shù)萬(wàn)只。其中在光電子檢測(cè)領(lǐng)域合作客戶(hù)數(shù)十家，涉及型號(hào)近百個(gè)；在電力電子領(lǐng)域，覆蓋了現(xiàn)行所有可靠性測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，單在SiC領(lǐng)域合作客戶(hù)十余家，是國(guó)內(nèi)SiC檢測(cè)度廣、技術(shù)能力的第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)之一；在微波射頻領(lǐng)域，助力完成車(chē)規(guī)標(biāo)準(zhǔn)的微波射頻的測(cè)試，并向更高頻率、更高功率領(lǐng)域布局。